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オーデント（O-DENT）
FPD製造装置のステージからガラス基板を吸着する際に発生する静電気を軽減し、ガラス基板がステージに張り付くのを防ぐ。
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処理種
- オリジナル
用途
- 装置部品
機能
- 帯電防止
