研究開発

Proprietary Technologies

独自技術紹介

私たち、OGICだからできること。

研究と分析に裏付けられたOGICならではの技術を紹介します。

Technology #01

精密電鋳

フォトリソグラフィーと電鋳処理を組合せた
オリジナルの精密電鋳技術

フォトリソグラフィーと電鋳処理を組合せたオリジナルの精密電鋳技術により、微細な金属部品の製作が可能です。本技術を駆使し、血液中に含まれるごく僅かながん細胞を検出する医療向けフィルタの製作を実現しました（がん検出機器開発を推進中）。また、高アスペクト比で深掘りされた微細パターンには、ボイド等の欠陥無く、忠実に金属を埋め込むことが可能です。Si原版から離型することで、ナノインプリント向けモールドとしてご利用いただけます。

  • ●適用例：高アスペクト比の金属構造体、メッシュ、金型など

※下図は画面に収まらない場合、左右にスライドしてご覧いただけます。

精密電鋳工程

医療向けフィルタ動画

ナノインプリントとは？

ナノインプリントはモールドに形成したパターンを樹脂・フィルムなどに転写する微細パターン形成技術です。微細パターを必要とする半導体、バイオなどさまざまな分野で応用されています。

線幅5μm、深さ13μmのSi原版（AR2.6）ヘの埋め込み例
Technology #02

微細レジストパターンの形成

マスク製作が不要で工期短縮ができる
マスクレス露光機

微細加工分野の発展に伴い、3D構造体や回折光学素子などのさまざまな構造体製作が求められてます。弊社では、マスク製作が不要で工期短縮ができるマスクレス露光機を活用し、微細構造体の製作や用途展開を図っています。

  • ●適用例：3D構造体製作のためのレジストパターニング、微細構造体・パターニング、マイクロ流路など
  • ●最小線幅：0.6μm
  • ●最大基板サイズ：6″×6″
3Dパターン／熊本城（0.5mm）
2Dパターン／日本地図（0.5mm）
2Dパターン／マイクロ流路（1mm）

今後も新しいチャレンジを
続けていきます！