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装置名 | メーカー | 型式 | 台数 | 特徴 |
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低真空分析走査電子顕微鏡 | 日本電子 | JSM-6380LA | 1台 | ×5~×300,000の観察が可能。 非導電性試料も観察でき、元素分析が可能である。 |
卓上走査電子顕微鏡 | 日本電子 | JCM-6000Plus | 1台 | ×10〜×60,000の観察が可能。 |
クロスセクションポリッシャー | 日本電子 | IB-09010CP | 1台 | 試料に損傷無く、断面試料を作成する。 軟らかい物質や硬い物質が混在していてもダレることがない。 |
デジタルマイクロスコープ | キーエンス | VHX-600 VH-5500 VHX-6000 |
各1台 | 試料のサイズに関係なく、観察可能。 計測、3D解析が可能である。 |
真空蒸着装置 | 日本電子 | JEE-420 | 1台 | 非導電性試料にAuやCを蒸着し、高真空での観察や分析が可能になる。 |
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装置名 | メーカー | 型式 | 台数 | 特徴 |
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微小硬さ試験機 | ミツトヨ | HM-221 | 1台 | 試験力0.4903〜19610mN (0.05gf〜2000gf)で試験可能。 自動読み取り機能により、読み取り誤差が少ない。 |
表面粗さ形状測定器 | 東京精密 | SURFCOM NEX E-35A |
2台 | 表面形状の3D解析が可能。 JIS B 0601:’01対応。 |
デジタルフォースゲージ | イマダ | ー | 1台 | めっき皮膜の密着強度を測定。 |
ソルダーチェッカー | RHESCA | SC-51025 | 1台 | ゼロクロスタイムを測定し、はんだ濡れ性を評価する。Pbフリー対応。 |
塩水噴霧試験機 | スガ試験機 | ー | 2台 | めっき皮膜の耐食性評価。 |
小型環境試験器 | ESPEC | SH-240 | 1台 | めっき皮膜の熱サイクルや湿度試験。 |
リフロ一装置 | UNITEMP | RSS-210-S | 1台 | タッチパネル式卓上型真空はんだリフロ一装直。 |
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装置名 | メーカー | 型式 | 台数 | 特徴 |
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蛍光X線膜厚計 | SII | SFTシリーズ | 4台 | めっき膜厚を非破壊で測定可能。 半導体検出器を持つSFT-9500や9400シリーズは、分解能が高く数%の微量成分の管理も可能である。 |
日立ハイテクサイエンス | EA-6000VX | 1台 | ||
Fischer | X-RAY XDV-μ | 1台 | ー | |
電磁式·渦電流式膜厚計 | Kett | 各種 | 5台 | 磁性素地金属上の非磁性めっきや陽極酸化皮膜の膜厚を測定。 |
膜厚測定システム | フィルメトリクス | F-20 | 1台 | レジスト膜厚を測定。 |
スパイラル応力計 | 山本鍍金試験器 | ー | 1台 | めっき皮膜の応力を、めっき析出させながら測定する。 |
ストリップ式電着応力試験器 | エレクトロケミカル | ー | 1台 | テストストリップにめっきすることで、簡巣にめっき皮膜の応力を測定できる。 |
ピンホール探知機 | サンコウ電子 研究所 |
TRC-110B | 1台 | ー |
電気マイクロメータ | 東京精密 | MINICOM-DX | 1台 | 最小分解能0.1μm |
マイクロメータ | Mitutoyo | 各種 | ー | ー |
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装置名 | メーカー | 型式 | 台数 | 特徴 |
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ICP発光分析装置 | SHIMADZU | ICPE-7820 | 1台 | 検出限界が高く、高感度である。 化学的干渉が少ない。 同一条件で同時定量が可能。 |
原子吸光分光分析装置 | Termo Fisher SCIENTIFIC |
iCE3300 | 1台 | 高温に加熱して原子化した物質に光を照射し、構成元素、固有の幅の狭い吸収スペクトルを示す現象を利用して試料に含まれる元素の定性と定量を行う。 |
HPLC (高速液体クロマトグラフィー) |
Termo Fisher SCIENTIFIC |
Vanquish Core | 1台 | 液体試料に溶解している化合物を分離し、どのような成分が含まれているかを定性・定量分析する。 |
卓上pH計 | 堀場製作所 | F-2000PI-S | 1台 | 卓上pH計(電気伝導度測定可能)。 |
無電解ニッケル自動分析 | ー | ー | 7台 | ー |